質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，在室內(nèi)來回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)入室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)入磁場(chǎng)，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場(chǎng)和接收縫到達(dá)接收極而被檢測(cè)。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到僅對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦氣檢漏儀特有的清氦系統(tǒng)，快速有效地清除超標(biāo)的氦本底，保證檢測(cè)的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性；實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)氦氣壓力和濃度，保證了工件檢測(cè)的精度；
通過外部檢漏通常都會(huì)解決，但在多遍檢漏后問題若是仍然存在，我們就應(yīng)該考慮是否存在內(nèi)部漏點(diǎn)。筆者發(fā)現(xiàn)，內(nèi)漏大多來源于各種充氣閥。若要驗(yàn)證，可以在閥門保持關(guān)閉的狀態(tài)下，將閥門的保護(hù)氣體一端法蘭打開- -縫隙，充入氦氣檢查是否漏氣，若不漏氣，再將閥門連接好后立即充入保護(hù)氣體到管路中，如果這時(shí)檢漏儀漏率值上升,那么就可以確定充氣閥泄漏是真空指標(biāo)不合格的原因。
檢漏時(shí)噴在漏孔處停留的時(shí)間應(yīng)為儀器響應(yīng)時(shí)間的3倍，該時(shí)間再加上氦氣在真空系統(tǒng)中的傳遞時(shí)間，即為兩次噴氦的較小間隔時(shí)間，當(dāng)然真空系統(tǒng)越龐大，該間隔時(shí)間也越長(zhǎng)。氦質(zhì)譜檢漏儀不會(huì)受到主觀因素判斷的影響；檢測(cè)的數(shù)據(jù)；自動(dòng)生成數(shù)據(jù)保存，可追溯數(shù)據(jù)來源。氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用制冷行業(yè)：冰箱、空調(diào)、汽車用空調(diào)、蒸發(fā)器、冷凝器、奪縮機(jī)、低溫儲(chǔ)槽。
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